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贴文
标题
内容
名称
PLECT-100 / PLECT-200
-目标: LER的防塌与改进
-用途:ArF光刻胶
ATL-1008
-目标: LER的防塌与改进
-用途:KrF光刻胶
CL-Y200
石英管用多晶硅腐蚀剂
YSG-402E
锗硅蚀刻剂
DE-Y250L
彩色滤光片用TMAH型显影剂
DV-7000D / DE-Y2200 / DV-400 / DV-400S
TMAH型显影剂
YCTA-9047
-环保安全; 无PFOS/PFOA问题
-低折射率
-pH值可控
YA-800
-目标:厚度0.08um
-用途:ArF BARC
YA-600A
-目标:厚度0.06um
-用途:填缝剂BARC
YA-400
-目标:厚度0.04um
-用途:ArF BARC
YCB-240
-目标:厚度0.024um
-用途:TSV包装BARC-球栅阵列碰撞过程
YPP-T6K
-目标:厚度6.0um (Res. 6.0um, 接触孔)
-用途:i线正TSV器件
AYCKP-9160
-目标:厚度6.0um (Res. 5.0um, 接触孔)
-用途:KrF正TSV器件
YCKN-2954
-目标:厚度0.54um (Res. 180nm, 250nm)
-用途:注入层和蚀刻层
YCKN-4530
-目标:厚度0.30um (Res. 180nm)
-用途:注入层
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